背隙是軸向反轉時產生的微小空行程——即滾珠螺桿螺帽、軸承與驅動元件在恢復運動前的間隙。背隙過大會造成特徵位置不一致與圓度不佳，且會隨磨耗而增加。
現代機台以預壓滾珠螺桿將其降到最低，並以控制器補償加以修正；在二手機台上，實測的背隙是機況健康的指標。
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